深圳物理抛光液介绍

  在化学机械抛光中运用的氧化铝磨料，常选用硬度大、性能安稳、不溶于水、不溶于酸碱的纳米α-Al2O3。作为化学机械抛光磨料，氧化铝颗粒的巨细、形状、粒度散布都影响抛光效果。在LED行业，CMP抛光液中常选用粒径50∼200 nm、粒径散布均匀的纳米α-Al2O3。近年来对α-Al2O3磨料颗粒的研讨主要会集在纳米级球形颗粒的制备上。常见制备办法有以下几种。

  固相法。其间的硫酸铝铵热解法、改进拜尔法、法等是比较老练的制备办法。固相法制备超细粉体的流程简单，无需溶剂，产率较高，但生成的粉体易发作聚会，且粒度不易操控，难以得到散布均匀的小粒径的高质量纳米粉体。

  气相法。主要有化学气相沉淀法，经过加热等方式改动物质形态，在气体状态下发作反响，之后在冷却进程中形成颗粒。气相法的长处是反响条件能够操控、产品易精制，颗粒涣散性好、粒径小、散布窄，但产出率低，粉末难搜集。

  液相法。常见的有水解、喷雾干燥、溶胶凝胶、乳化等几种办法。液相法的长处体现在：可准确操控产品的化学组成，纳米粒子的外表活性高，形状简单操控涣散均匀，生产成本比较低，简单实现工业化生产。

氧化铈抛光液是以微米或亚微米级CeO2为磨料，具有分散性好、粒度细、粒度分布均匀、硬度适中等特点。深圳物理抛光液介绍

   陶瓷手机壳用**纳米氧化铝抛光液  

本公司的纳米抛光液可以对手机壳等材料进行抛光处理。白色液体氧化铝抛光液含α氧化铝30%，氧化铝平均粒度为80-150nm，pH显中性，不含对人体有害成分。本α氧化铝晶型化优良，材料去除效率高，可达到镜面的亮度。产品极易清理，且对设备没有任何腐蚀。本产品质量稳定，不会沉淀。它具有的特点包括纳米氧化铝粒径均匀、软硬度适中、粒度分布集中，没有特别大的颗粒，不会对抛光物体产生划痕，材料会光亮如镜，抛光亮度稳定悬浮性好、不易沉淀、使用方便，可以长时间使用，从而保证使用寿命，它的分散性好、乳液均一，**提高了抛光效率和精度。同时，具有无腐蚀、不易变质等性能。 河南抛光液加工氧化铈抛光液用于高精密光学仪器，光学镜头，微晶玻璃基板，晶体表面、集成电路光掩模等方面的精密抛光。

依据机械加工原理、半导体材料工程学、物力化学多相反应多相催化理论、表面工程学、半导体化学基础理论等，对硅单晶片化学机械抛光（CMP）机理、动力学控制过程和影响因素研究标明，化学机械抛光是一个复杂的多相反应，它存在着两个动力学过程：  （1）抛光首先使吸附在抛光布上的抛光液中的氧化剂、催化剂等与衬底片表面的硅原子在表面进行氧化还原的动力学过程。这是化学反应的主体。  （2）抛光表面反应物脱离硅单晶表面，即解吸过程使未反应的硅单晶重新裸露出来的动力学过程。它是控制抛光速率的另一个重要过程。  硅片的化学机械抛光过程是以化学反应为主的机械抛光过程，要获得质量好的抛光片，必须使抛光过程中的化学腐蚀作用与机械磨削作用达到一种平衡。如果化学腐蚀作用大于机械抛光作用，则抛光片表面产生腐蚀坑、桔皮状波纹。如果机械磨削作用大于化学腐蚀作用，则表面产生高损伤层。

硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液及其应用:一种用于硫系化合物相变薄膜材料GexSbyTe(1-x-y)化学机械抛光(CMP)的纳米抛光液及该化学机械抛光液在制备纳电子器件相变存储器中的应用。该CMP纳米抛光液包含有氧化剂、螯合剂、pH调节剂、纳米研磨料、抗蚀剂、表面活性剂及溶剂等。该抛光液损伤少、易清洗、不腐蚀设备、不污染环境,主要用于制造相变存储器关键材料GexSbyTe(1-x-y)的CMP。利用上述抛光液采用化学机械抛光方法去除多余的相变薄膜材料GexSbyTe(1-x-y)制备纳电子器件相变存储器,方法简单易行。本公司销售的纳米抛光液应用范围：汽车表面漆层、宇航飞机机翼前缘。

纳米氧化铝颗粒在极性的水溶液中，氧化铝颗粒因为受静电力等作用发作聚会，简单呈现絮凝分层等现象，抛光液的涣散性、安稳性。由磨料颗粒的聚会现象发作的大颗粒胶团，是化学机械抛光进程中衬底外表呈现划痕的主要原因。氧化铝颗粒的粒径巨细及散布、Zeta电位，以及抛光液添加安稳剂、涣散剂的品种和质量对抛光液安稳性有较大的影响。

  对纳米氧化铝外表改性可进步颗粒外表规矩度，减少抛光划痕和凹坑，一起进步氧化铝磨料涣散度和抛光液安稳性。常见的处理办法为利用偶联剂、有机物、无机物等在硬度较高的氧化铝粒子外表包覆一层较软的物质以减少抛光划痕和凹坑等缺点，从而改进氧化铝抛光液的安稳性和涣散性，一起能有用进步抛光磨料的耐磨性能。此外，还能够经过改动氧化铝颗粒Zeta电位来进步抛光液的安稳性。

  磨料粒子的涣散问题。现在，国内外常用超声波、机械拌和、外表处理等机械化学办法对纳米磨料粒子进行涣散，但是往往达不到效果，因而，纳米磨料粒子的涣散安稳性需要进一步的研讨。

本公司的纳米抛光液适合各种宝石研磨抛光、电子磁性材料的研磨抛光。河南抛光液加工

本公司销售的纳米抛光液应用范围：化妆品填料。深圳物理抛光液介绍

蓝宝石研磨液利用聚晶金刚石的特性，在研磨抛光过程中保持高切削效率的同时不易对工件产生划伤。可以应用在蓝宝石衬底的研磨和减薄、光学晶体、硬质玻璃和晶体、超硬陶瓷和合金、磁头、硬盘、芯片等领域的研磨和抛光。

蓝宝石研磨液在蓝宝石衬底方面的应用：

1. 外延片生产前衬底的双面研磨：多用蓝宝石研磨液研磨一道或多道，根据**终蓝宝石衬底研磨要求用6um、3um、1um不等。

2. LED芯片背面减薄

为解决蓝宝石的散热问题，需要将蓝宝石衬底的厚度减薄，从450nm左右减至100nm左右。主要有两步：先在横向减薄机上，用50-70um的砂轮研磨磨去300um左右的厚度；再用抛光机（秀和、NTS、WEC等）针对不同的研磨盘（锡/铜盘），采用合适的蓝宝石研磨液（水/油性）对芯片背面抛光，从150nm减至100nm左右。

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苏州豪麦瑞材料科技有限公司致力于化工，是一家贸易型的公司。公司业务分为陶瓷研磨球，碳化硅，陶瓷精加工，抛光液等，目前不断进行创新和服务改进，为客户提供良好的产品和服务。公司注重以质量为中心，以服务为理念，秉持诚信为本的理念，打造化工良好品牌。豪麦瑞材料科技秉承“客户为尊、服务为荣、创意为先、技术为实”的经营理念，全力打造公司的重点竞争力。