深圳宝石抛光液性能

蓝宝石研磨液  

蓝宝石研磨液（又称为蓝宝石抛光液）是用于在蓝宝石衬底的研磨和减薄的研磨液。  蓝宝石研磨液由质量聚晶金刚石微粉、复合分散剂和分散介质组成。    

蓝宝石研磨液利用聚晶金刚石的特性，在研磨抛光过程中保持高切削效率的同时不易对工件产生划伤。可以应用在蓝宝石衬底的研磨和减薄、光学晶体、硬质玻璃和晶体、超硬陶瓷和合金、磁头、硬盘、芯片等领域的研磨和抛光。

蓝宝石研磨液在蓝宝石衬底方面的应用：  

 1. 外延片生产前衬底的双面研磨：多用蓝宝石研磨液研磨一道或多道，根据**终蓝宝石衬底研磨要求用6um、3um、1um不等。 

 2. LED芯片背面减薄   为解决蓝宝石的散热问题，需要将蓝宝石衬底的厚度减薄，从450nm左右减至100nm左右。主要有两步：先在横向减薄机上，用50-70um的砂轮研磨磨去300um左右的厚度；再用抛光机（秀和、NTS、WEC等）针对不同的研磨盘（锡/铜盘），采用合适的蓝宝石研磨液（水/油性）对芯片背面抛光，从150nm减至100nm左右。 本公司的纳米抛光液适合水晶玻璃抛光，单晶硅片抛光，油漆表面抛光。深圳宝石抛光液性能

纳米抛光液应用范围： 

 1、 透明陶瓷：高压钠灯灯管、EP-ROM窗口。

 2、 化妆品填料。  

 3、 单晶、红宝石、蓝宝石、白宝石、钇铝石榴石。  

 4、 **度氧化铝陶瓷、C基板、封装材料、***、高纯坩埚、绕线轴、轰击靶、炉管。      

 5、 精密抛光材料、玻璃制品、金属制品、半导体材料、塑料、磁带、打磨带。 

 6、 涂料、橡胶、塑料耐磨增强材料、高级耐水材料。  

 7、 气相沉积材料、荧光材料、特种玻璃、复合材料和树脂材料。 

 8、 催化剂、催化载体、分析试剂。  

 9、 汽车表面漆层、宇航飞机机翼前缘。 临沂钻石抛光液性能本公司的纳米抛光液适合手机外壳抛光，汽车表面抛光，高级不锈钢外壳抛光。

复合抛光液对硅衬底去除速率的影响

目前，IC产品用到的衬底材料大都是硅材料，绝大多数的的半导体IC器件以高纯质量硅基作为衬底。但是随着IC产品集成度进一步提高，对硅单晶衬底片表层质量与表面平整度要求越趋严格，即要求硅衬底抛光片或外延片表面高平整度、高光洁度、表面无损伤。化学机械抛光是***能实现如此高精度的方法。抛光液pH值，组分等性质对硅衬底抛光速率有着***的影响。复合抛光液是不同的两种以上的抛光液磨料组合而成的，性能良好的混合磨料之间可以形成优势互补，具有单一磨料不具备的新特点。充分发挥其特性，可以获得抗腐蚀性、耐久性和稳定性更好的抛光液。本文通过SiO2磨料和CeO2磨料的混合，确定出抛光速率较高的混合配比和磨料体积分数。

   陶瓷手机壳用**纳米氧化铝抛光液  

本公司的纳米抛光液可以对手机壳等材料进行抛光处理。白色液体氧化铝抛光液含α氧化铝30%，氧化铝平均粒度为80-150nm，pH显中性，不含对人体有害成分。本α氧化铝晶型化优良，材料去除效率高，可达到镜面的亮度。产品极易清理，且对设备没有任何腐蚀。本产品质量稳定，不会沉淀。它具有的特点包括纳米氧化铝粒径均匀、软硬度适中、粒度分布集中，没有特别大的颗粒，不会对抛光物体产生划痕，材料会光亮如镜，抛光亮度稳定悬浮性好、不易沉淀、使用方便，可以长时间使用，从而保证使用寿命，它的分散性好、乳液均一，**提高了抛光效率和精度。同时，具有无腐蚀、不易变质等性能。 纳米 抛光液用 于硬质材料的超精密抛光过程，可使被抛表面粗糙度低于0.2nm。

高介电材料钛酸锶钡化学机械抛光用的纳米抛光液:一种用于半导体器件中高介电常数介电材料钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST)化学机械抛光(CMP)的纳米抛光液。该CMP纳米抛光液包含有纳米研磨料、螯合剂、pH调节剂、表面活性剂、消泡剂、杀菌剂及溶剂等。该抛光液损伤少、易清洗、不腐蚀设备、不污染环境,主要用于新一代高密度存储器(DRAM)电容器介电材料及CMOS场效应管的栅介质——高介电常数介电材料钛酸锶钡的全局平坦化。利用上述纳米抛光液采用化学机械抛光方法平坦化高介电常数介电材料钛酸锶钡,抛光后表面的粗糙度降至0.8nm以下,抛光速率达200～300nm/min;抛光后表面全局平坦度高,损伤较少,是制备超高密度动态存储器(DRAM)及CMOS场效应管时高介电材料平坦化的一***抛光液。本公司销售的纳米抛光液应用范围：汽车表面漆层、宇航飞机机翼前缘。深圳宝石抛光液性能

金刚石 研磨液包括单晶、多晶和纳米。  该产品适合硬质材料的抛光。深圳宝石抛光液性能

氧化铝抛光液的酸碱度就是抛光液的pH值，当抛光液的pH值为9.6时，抛光液的机械作用远大于化学作用，去除速率比较大，导致抛光后抛光片表面产生高损伤层，粗糙度比较大。

当抛光液的pH值增大为10.84～11.34时，机械作用和化学作用达到一种对等状态时，此时化学作用的均匀性好，使得表面张力小，质量处理的一致性好，可以得到良好的表面抛光效果。

当pH值大于11.67时，SiO2水溶胶在强碱的作用下，生成易溶于水的硅酸氨，使得硅溶胶中的SiO2颗粒不能起到磨削作用，变成透明的液体，此时机械作用基本失效，抛光以化学作用为主，表面蚀坑增多，使得表面粗糙度重新增加。 深圳宝石抛光液性能

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