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2、靶材的主要性能要求

（1）纯度  

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”、 8”发展到12”，而布线宽度由0.5um减小到0.25um，0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。    

（2）杂质含量  

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。   澳大利亚和南非之锆资源集中地，中国和欧洲是锆的主要消费地区。山东锆欢迎咨询

1、锆及锆合金的基本特性

     锆及锆合金材料主要有 R60702、 R60704、R60705三个级别。锆及锆合金焊接性能较好 ,在常温下的化学性能比较稳定 ,但其高温化学性能非常活泼,对环境气体中的氧、氮、氢以及操作环境中的粉尘、湿度等污染都有很强的亲和力。随着温度的升高 ,其化学活性急剧增强,与氢在 200 ℃下生成 ZrH 2 ;与氧在 300℃下, 可以生成 ZrO 3 ;在 550 ℃以上 , 与空气中的氧反应生成多孔的脆性氧化膜 ;在 600 ℃下,锆吸收氮生成 ZrN; 在 700 ℃以上 ,吸收氧而使材料严重脆化，随着温度的增加, 其吸收能力和反应速度随之增强。锆及锆合金的优良的抗腐蚀性能来源于其表面形成的氧化膜 ,并取决于氧化膜的完整性和牢固性 ,当锆及锆合金在吸收了一定数量的氧 、氮、氢等气体杂质后, 其力学性能及抗腐蚀性能将急剧下降 。反应生成多孔的脆性氧化膜 ，所以,对环境粉尘、湿度及热影响区表面、焊缝背面加强保护是焊接过程中质量管控的关键要素。 福建等外锆厂家现货焊缝组对应严格控制组对间隙及错边量 ,。

锆材管子切割前应核对材质和规格，并做好材质标记的移植工作。应使用无腐蚀的记号笔，严禁打钢印。锆材切割应使用机械方法，若使用等离子或砂轮切割，切割时管子转动，使其始终处于比较好位置，采用等离子切割时应采取措施保护管子内外表面，以防表面被火花灼伤，并用机械方法去除污染层。

经常清理工具上的污物，每次使用前应清洁，无任何杂物。锆材管子无论用机械加工或锯切后，还应使用锉刀修磨切口，然后用不锈钢刷或电动不锈钢丝轮等工具，进一步加工，使坡口表面平整光滑，无毛刺、凹坑、沙粒等缺陷。管子、管件**对过程中，不允许强力组对，严禁锤击或划伤材料表面。

由于锆材焊接时液态金属流动性特别好，管子坡口组对装配时钝边、间隙应严格按工艺指导书规定，以免焊接时烧穿。

管子管件定位焊的工艺措施及焊接材料应与正式焊接一致，点焊高度不得超过管壁厚的2/3，定位焊的焊缝不得有裂纹、气孔或不允许存在的氧化变色等缺陷，否则应打磨。

锆材的切割和坡口加工，可以采用机械方法，也可以采用氧-乙炔焰、等离子弧等热切割方法，但热切割会产生强烈的火烟，切口周边材料被严重污染，必须打磨***，造成浪费。 锆具有良好的吸气性。

3.11.2 焊接管口外部气体的置换和保护

     由于锆及锆合金高温化学性能非常活泼 ,在焊接过程中*依赖氩弧焊焊***喷嘴供应的氩气对熔池和高温焊道及热影响区进行保护是无法保证焊接质量的 。为了确保满足高温区气体隔离、延长氩气保护时间的要求 ,必须增加特制的管道外部气体保护装置 ,对在高温状态下的焊接熔池 、高温焊道及热影响区进行高纯氩隔离保护 

采用气体保护托罩 ,托罩的规格随管道的规格变化。气体托罩由外壳 、不锈钢或铜丝网 、输氩管嘴配合焊炬等构成。使用时,配备相应的输氩软管,随焊炬的拖动随之移动。 地壳中含锆约0.026％，为铜的两倍半。黑龙江**度锆屑

晶态锆合金按其相组成通常可分为α型锆合金、α+β型锆合金和β型锆合金。山东锆欢迎咨询

    （4）弯曲试验。检验延展性的一种简单的弯曲试验，在焊缝污染的检验中也是有效的。虽然可以采用面弯和背弯等复杂的方法，也可加工一条两个锆窄条之间简单的对接焊缝，然后将其固定在一个台钳上用弯轴进行弯曲。良好延展性的焊缝在五倍半径弯轴范围内弯曲180°且无裂纹。如果焊道明显地比母材金属厚，在弯曲之前，应将其打磨或机加到与母材金属相齐平。（5）硬度。去污染焊缝的布氏硬度与母材硬度相比不得超过30HB。如果超过，则说明污染严重，与焊缝表面或根部颜色无关。焊缝硬度比母材硬度高30HB,无论焊缝表面颜色如何，都认为焊缝已经受到严重的污染。（6）返修。对于焊缝的返修，应在返修前用机械方法***缺陷，并用目视和液体渗透检查确保缺陷消除干净，返修的焊接上述的要求一致。返修的部位应重新进行规定的检验。同一部位的返修次数不宜超过两次。 山东锆欢迎咨询

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