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调节访问装置包括调节mtj器件和调节mtj器件。调节mtj器件、调节mtj器件和工作mtj器件分别包括垂直布置在底电极通孔和顶电极通孔之间的mtj。在一些实施例中,顶电极通孔可以通过通孔(例如,铜通孔)连接至上面的互连层。在一些实施例中,底电极通孔和顶电极通孔可以包括金属,诸如氮化钛(tin)、氮化钽(tan)、钛(ti)、钽(ta)等。在一些实施例中,互连层b从调节mtj器件正上方连续延伸至调节mtj器件正上方。调节mtj器件、调节mtj器件和工作mtj器件分别包括由介电遂穿阻挡层分隔开的自由层和固定层。自由层具有被配置为响应于电信号(例如,电流)而改变的磁矩。固定层具有固定的磁取向,该磁取向被配置为用作参考磁方向和/或减少对自由层的磁冲击。在一些实施例中,mtj中的一个或多个可以包括附加层。例如,在一些实施例中,mtj中的一个或多个可以包括位于底电极通孔和固定层之间的反铁磁层。在其它实施例中,mtj中的一个或多个可以包括以各种方式布置的附加固定层(例如,附加固定层、附加固定层等)和/或附加自由层(例如,附加自由层、附加自由层等)以改进mtj的性能。图b示出了对应于图的存储器阵列的集成芯片的一些可选实施例的截面图。集成芯片包括布置在衬底上方的介电结构。超大规模集成电路:逻辑门1,001~10k个或 晶体管10,001~100k个。江苏计算机集成电路厂家
凌特)以及TI、MAXIM、NXP等国际品牌集成电路。产品广泛应用于:汽车、通信、消费电子、工业控制、医疗器械、仪器仪表、安防监控等领域。本公司一直秉承优势服务,诚信合作的原则,以现代化管理以及优势的渠道价格、良好的信誉与广大客户建立了长期友好的合作关系,为广大厂商和市场客户提供优势的产品服务。在一些实施例中,调节访问装置可以包括与工作mtj器件并联连接的薄膜电阻器和薄膜电阻器。在各个实施例中,调节访问装置可以包括具有基本类似的尺寸或具有不同的尺寸的电阻器。存储器阵列通过多条位线bl至bl和多条字线wl至wl连接至控制电路。在一些实施例中。控制电路包括连接至多条位线bl至bl的位线解码器和连接至多条字线wl至wl的字线解码器。调节访问装置连接在字线wlx(x=或)和工作mtj器件之间,而工作mtj器件连接在调节访问装置和位线bly(y=或)之间。为了访问工作mtj器件。位线解码器被配置为基于从控制单元接收的地址saddr选择性地向一条或多条位线bl至bl提供信号(例如,电压)。而字线解码器被配置为基于从控制单元接收的地址saddr选择性地向一条或多条字线wl至wl提供信号(例如,电压)。调节访问装置被配置为调节电流(提供给相关的工作mtj器件的信号)。重庆半导体集成电路器件集成电路行业具有生产技术工序难度高、芯片品类众多、技术迭代速度快、高投入与高风险并存等特点。
为了达到这个目标,在过去的几十年间,存储单元组件的尺寸已经不断缩小。mtj器件超越其它存储器类型的一个优势是mtj器件的mtj可以制成非常小的尺寸。然而,在mram单元中,驱动晶体管(即,存取晶体管)用于在读取和/或写入操作期间选择性地向相关的mtj器件提供电压和/或电流。因为mram单元通常对写入操作使用相对高的电压和/或电流,所以驱动晶体管的尺寸可能相对较大。虽然可以使mram单元的mtj具有小的尺寸,但是相对大尺寸的驱动晶体管限制了存储器阵列内的小型ram单元可以缩小的程度。在一些实施例中,涉及集成芯片,该集成芯片包括具有多个存储单元(例如,mram单元)的存储器阵列,存储单元不包括驱动晶体管(即,不使用驱动晶体管来对存储单元提供电压和/或电流)。而且,多个存储单元分别包括调节访问装置,该调节访问装置被配置为选择性地对存储器阵列内的工作mtj器件提供访问。调节访问装置具有连接至工作mtj器件的一个或多个调节mtj器件。一个或多个调节mtj器件被配置为通过控制(即。调节)提供给工作mtj器件的电流来选择性地对工作mtj器件提供访问。通过使用调节访问装置来选择性地对存储器阵列内的工作mtj器件提供访问,可以减小存储器阵列内的存储单元(例如。
字线解码器被配置为选择性地将信号施加至连接至存储器阵列的一条或多条字线wl至wl,并且位线解码器被配置成选择性地将信号施加至连接至存储器阵列的一条或多条位线bl至bl。通过选择性地将信号施加至一条或多条字线wl至wl和一条或多条位线bl至bl,可以在相互排斥的情况下选择性地访问多个工作mtj器件中的不同工作mtj器件。例如,图a至图b示出了图的存储器电路的写入操作的一些实施例的示意图和。示意图和所示的写入操作是实施写入操作的方法的非限制性实例。在其它实施例中,可以可选地使用实施写入操作的其它方法。图a至图b中示出的写入操作在步骤。图a所示)期间将数据状态写入至存储器阵列的一行中的一个或多个存储单元,并且在随后的步骤(图b所示)期间将数据状态写入至存储器阵列的该行中的一个或多个存储单元,以使用两步工艺将数据写入至存储器阵列的整个行。应该理解,为了将数据写入mtj器件。提供的通过mtj器件的电流必须大于切换电流(即,临界切换电流)。不大于切换电流的电流将不会导致电阻状态之间的切换,并且因此不会将数据写入存储器阵列内的mtj器件。在一些实施例中。公开的写入操作可以在调节mtj器件(例如,图中的至)处于高电阻状态来实施。集成电路厂家就找深圳美信美,服务有保障。
化学机械平坦化工艺)以形成互连层b。的截面图所示,可以在存储单元a,上方形成存储单元b,。存储单元b。可以包括工作mtj器件和调节访问装置,调节访问装置具有形成在第三互连层c和第四互连层d之间的调节mtj器件和。存储单元b,可以根据与关于图至图描述的那些类似的步骤形成。出了形成具有存储器电路的集成芯片的方法的一些实施例的流程图,该存储器电路包括具有调节访问装置的存储单元(例如,mram单元),该调节访问装置被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问。虽然方法示出和描述为一系列步骤或事件,但是应该理解,这些步骤或事件的示出的顺序不被解释为限制意义。例如。一些步骤可以以不同的顺序发生和/或与除了此处示出的和/或描述的一些的其它步骤或事件同时发生。此外,可能不是所有示出的步骤对于实施此处描述的一个或多个方面或实施例都是需要的,并且此处描述的一个或多个步骤可以在一个或多个单独的步骤和/或阶段中实施。在步骤中,在衬底上方形成互连层。互连层可以形成在衬底上方的ild层内。出了对应于步骤的一些实施例的截面图。在步骤中。在互连层的连续上表面正上方形成多个底电极通孔。出了对应于步骤的一些实施例的截面图。在步骤中。深圳美信美集成电路质量好。南京特大规模集成电路器件
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印刷电路板702一般是双侧的,集成电路704安装在两侧上。热接口材料706的层热耦联至集成电路704。一种常见的热接口材料是热间隙垫。然而,可以使用其他热接口材料。在所描绘的实施例中,由通过外部铰链720连接的一对侧板708a、708b组成的、能够移除的散热器与热接口材料706a、706b的层物理接触,并且因此热耦联至热接口材料706a、706b。侧板708a、708b可以由铝制成。然而,可以使用其他材料形成侧板708a、708b。能够移除的一个或多个弹性夹710a、710b可定位于侧板708周围,以将侧板708压靠在热接口材料706上,以确保合适的热耦联。图8a和图8b示出了根据一个实施例的、特征在于内部铰链的双列直插式存储模块组件。图8b示出了分解图,而图8a示出了装配图。双列直插式存储模块组件800包括印刷电路板802,在印刷电路板802上安装有一个或多个集成电路(一般地在804处示出)。印刷电路板802一般是双侧的,集成电路804安装在两侧上。热接口材料806的层热耦联至集成电路804。一种常见的热接口材料是热间隙垫。然而,可以使用其他的热接口材料。在所描绘的实施例中,由通过内部铰链820连接的一对侧板808组成的、能够移除的散热器与热接口材料806的层物理接触。江苏计算机集成电路厂家
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