四川针座行业标准

“精确度”是探测仪器基本的指针，涵盖定位、温度及生产率等三个层面。首先，必须能稳定、精确地探测到小型垫片，载台系统亦须精确、能直接驱动晶圆托盘，并在晶圆移动的过程中准确地将晶圆和晶圆对位；其次，必须具备动态监控机制，确保所挟带的空气以监控温度、掌握可靠度和稳定性；后，必须对高产出的进阶移动做动态控制才能拥有佳的终结果。整体而言，针脚和垫片之间的相应精确度应在±1.5μm之间。随着新工艺的微缩，为了强化更小晶粒定位的精确性，需要动态的Z轴辅助校正工作，以避免无谓的产出损失。针座的维护与保养就显得尤为重要。四川针座行业标准

触点压力的定义为针座顶端（测量单位为密耳或微米）施加到接触区域的压力（测量单位为克）。触点压力过高会损伤焊点。触点压力过低可能无法通过氧化层，因此产生不可靠的测试结果。针座是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的测试设备。针座主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。高刚性的硅片承载台（四方型系统）为了有效的达到接触位置的精度，硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的，使用新的4轴机械转换装置（QPU），达到高刚性，高稳定度的接触。浙江柔性针座针座尖磨损和污染都会对测试结果造成极大的负面影响。

晶圆针座是半导体工艺线上的中间测试设备，与测试仪连接后，能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。随着对高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低价格的电子产品的需求日益增长，这就要求在一个芯片中集成更多的功能并进一步缩小尺寸，从而大片径和高效率测试将是今后晶圆针座发展的主要方向。因此，传统的手动针座和半自动针座已经不能满足要求，取而代之的是高速度，高精度，高自动化，高可靠性的全自动晶圆针座。

12英寸晶圆在结构上具有更高的效率，以200mm工艺为例，在良率100%的情况下，可出88个完整的晶粒，理论上因方块切割所造成的边缘浪费率为23%(约有20个晶粒因缺角破损而无法使用)；而若以300mm工艺进行切割，则产出效率将更惊人，可产出193个完整的晶粒，会浪费19%的晶圆面积(36个不完整晶粒)。此外，12英寸厂的规模经济优势也不容小视；300mm的建厂成本与200mm的建厂成本比值约为1.5，而晶圆厂建厂成本与晶圆面积的比值却少于2.25，这意味着只要多投入1.5倍的建厂成本，即可多生产2.25倍的晶粒！少少的边际投入即可获取的收益，约可节省33%的成本；如此高报酬的投资效益随着技术的发展而让人们受益。针座虚焊和布线断线或短路，测试时都要测不稳。

针座可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及针座座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。针座是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到针座载物台(chuck)上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转针座座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部针座(射频或直流针座)，准确扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。针座尖如果氧化，接触电阻变大。浙江柔性针座

系统在测试每个芯片的时候对芯片的好坏与否进行判断，发出合格与不合格的信号。四川针座行业标准

如何判断针座的好坏：1.可以用扎五点来判断，即上中下左右，五点是否扎在压点内，且针迹清楚,又没出氧化层,针迹圆而不长且不开叉.2.做接触检查,每根针与压点接触电阻是否小于0.5欧姆.3.通过看实际测试参数来判断,针座与被测IC没有接触好，测试值接近于0。总之，操作工只要了解了针座故障的主要原因：1.针座氧化.2.针尖有异物(铝粉，墨迹，尘埃).3.针尖高度差.4.针尖异常(开裂，折断，弯曲，破损)。.5.针尖磨平.6.针座没焊好.7.背面有突起物，焊锡线头.8.操作不当。平时操作时应注意:1.保护好针座,卡应放到氮气柜中.2.做好针座的管理工作.3.规范操作,针尖不要碰伤任何东西。同时加强操作人员的技能培训。有利于提工作效率和提高质量。四川针座行业标准

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