广东精密平面加工

    首先对于蓝宝石基板来说，它在成为一片合格的衬底之前大约经历了从切割、粗磨、精磨、以及抛光几道工序。以2英寸蓝宝石为例：1.切割：切割是从蓝宝石晶棒通过线切割机切割成厚度在500um左右。在这项制程中，金刚石线锯是主要的耗材，目前主要来自日本、韩国与中国台湾地区。2.粗抛：切割之后的蓝宝石表面非常粗糙，需要进行粗抛以修复较深的刮伤，改善整体的平坦度。这一步主要采用50~80um的B4C加Coolant进行研磨，研磨之后表面粗糙度Ra大约在1um左右。3.精抛：接下来是较精细的加工，因为直接关系到成品的良率与品质。目前标准化的2英寸蓝宝石基板的厚度为430um，因此精抛的总去除量约在30um左右。考虑到移除率与的表面粗糙度Ra，这一步主要以多晶钻石液配合树脂锡盘以Lapping的方式进行加工。大多数蓝宝石基板厂家为了追求稳定性，多采用日本的研磨机台以及原厂的多晶钻石液。但是随着成本压力的升高以及国内耗材水准的提升，目前国内的耗材产品已经可以替代原厂产品，并且明显降低成本。说到多晶钻石液不妨多说两句，对于多晶钻石液的微粉部分，一般要求颗粒度要集中，形貌要规整，这样可以提供持久的切削力且表面刮伤比较均匀。

     粗糙度要求较高。常规切削方式粗糙度保持在Ra0.8左右，无法达到Ra0.1要求。广东精密平面加工

    研磨运动应该保证工件能够均匀地接触带研磨抛光盘的全部表面。这样可使其能够表面均匀受载、均匀磨损，因而还才可以长久地保持研具本身的表面精度。在研磨运动中，研具与工件之间应处于还处于浮动的状态，而不应是强制的限位状态。这样可以使工件与研磨抛光盘的表面能够更好地接触，把研具表面的几何形状能够准确有效地传递给工件，从而不会受到研磨抛光机本身精度的过多影响。研磨运动应保证工件受到均匀研威即被研工件表面上的每一点所运动的路程应相等。这就需要研磨运动比较好能够作平面平行运动，而这种运动是能够可使工件表面上任意两点的连成线，在整个研磨运动中，都能够始终保持平行，这对于保证工件的几何形状的精度以及尺寸均匀程度来说是至为重要的。所选用的研磨运动应使运动轨迹不断有规律地改变方向，尽量避免过早地出现重复。这样可以就可以使工件表面上的无数的切削条痕能够有规律地相互交错抵消，慢慢的越研越平，进而达到提高工件所要求的人表面精度的终目的。在研磨抛光机运动时，研磨运动还应该根据不同的研磨工艺要求，具体的选取比较好运动研磨速度。比如，当进行加工细长的大尺寸工件的时候，需要选取低速研磨，主要是由于所得到精度更高。广东精密平面加工采用差值法，在其基础上磨料粒度尺寸上升4倍要求。

    平面研磨机进行粗抛、精抛和抛光的工艺流程1、加温/上蜡：把粘贴板放上控温炉，温度100℃上下，等温度达到时，在粘贴板上涂上蜡(粘贴板中间位盲区不用涂)接着把要研磨的产品摆在粘贴板上面，摆完后，产品不能露出粘贴板边缘。2、冷却：产品粘完之后，戴上放热手套或手柄，把产品放置冷水压力机下。然后，在产品上放上一层保护纸层或其他保护层，保护好产品，免被压力机上的技术压板弄坏，接下来，把气压手柄慢慢降下，知道压到产品，气阀开关打到下降位置，打到自来水冷却。等5分钟左右产品冷却气阀开关打到上升位置后取下产品。3、采用治具：如果产品是采用治具研磨生产，就不必加温冷却这道程序。4、修面磨盘：主轴底盘和研磨盘背面先要清洗干净，接着把研磨盘放在主轴底盘上，主轴底盘上有个定位栓，要以研磨盘背面的定位孔对上，然后在研磨盘上拧上固定螺丝。按修面的程序把面修完后，把机器和研磨盘面上的垃圾清理干净。5、粗抛：把粘有产品的粘贴板放上研磨盘面，装上挡勾，挡勾支构不能用水清洗，以防轮子轴承生锈，挡勾上的两个转轮放在粘贴板侧面中间，两个转轮不可碰到盘面，粘贴板要放在研磨盘面的中间，不能太靠近里面或台露出外沿。

    1操作前的准备工作，导轮处于良好的转动状态，挡圈与导轮完好配合。并启动搅拌器，同时观察研磨液是否充分搅拌均匀，清理磨盘表面物体并将表面清洗干净。须检查直线导轨是否运行良好并处于可控状态。2修面操作，如果需要更好的修面效果，须把主轴调到最高转速,同时减小修面机的运行速度。然后启动修面机前进，此时修面机刀架往研磨盘中间移动，当刀架移至研磨盘边缘正上方时，按下修面机停止按钮，此时修面机刀架停止移动。研磨盘的旋转方向为逆时针方向旋转，所以修面刀的刃口应与研磨盘的旋转方向相反。左手持修面刀，刀头朝下，刃口朝右手边，然后轻轻放入刀夹槽内，靠修面刀自身的重力让刀尖与研磨盘面接触，(我们通常把接触到的这一点叫作零点)。然后固定修面刀(锁紧刀槽侧面的固定螺钉)，修面刀安装完成，由于修面刀的刀头为金刚石材质，所以比较脆，在安装修面刀的时候一定要小心谨慎。刀架上的千分尺是用来调节切削量的，与常规千分尺的读数方法相同，只要用手逆时钟方向旋动千分尺，修面刀就会往上移动，称之为退刀，相反顺时钟方向旋动千分尺，修面刀就会往下移动，称之为进刀。(注意：粗修的比较大进刀量不能超过150um。精修的进刀量推荐20um。

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    磨料对平面抛光效果的影响平面抛光过程中磨料的作用是借助于机械力，将晶片表而经化学反应后形成的钝化膜去除，从而达到表而平整化的目的。日前常用的磨料有胶体SiO2、Al2O3及CeO2等。磨料的种类决定了磨粒的硬度、尺寸，从而影响抛光效果。抛光铝实验中，相对于SiO2、Al2O3磨料能获得较好的表而平整度，表而刮痕数量少、尺寸小，其原因是胶体SiO2磨粒尺寸小，抛光时磨料嵌入晶片表面的深度较小，并且在推荐其它参数的情况下，也能获得很高的抛光效率。磨料的浓度会影响抛光效果。抛光铝实验中，随着磨料(胶体SiO2)浓度的提高，单位而积参与磨削的磨粒数日增加，所以抛光效率提高，表而刮痕尺寸缓慢增人或基本保持不变;但磨料浓度过人时，抛光液的粘性增人，流动性降低，影响加工表而氧化层的有效形成，导致抛光效率降低。磨粒的尺寸也会对抛光效果产生影响，磨粒尺寸越小，表而损伤层厚度小。据统计，在硅片的精抛过程中，每次磨削层的厚度为磨粒尺寸的四分之一。为了有效地减小表而粗糙度和损伤层厚度，通常采用小尺寸的胶体硅(15~20nm)来代替粗抛时的胶体硅(50~70rnm);同时通过加强化学反应及提高产物的排除速度来提高抛光效率。 深圳铭丰庆集平面磨五金加工生产和销售为一体，有想法的不要错过哦！湖北磨五金平面加工

以规格为6"，2500LB煤化工样机平面密封面技术要求为例。广东精密平面加工

    对外延片以Lapping的方式虽然加工品质较好。但是移除率太低，比较高也只能达到3um/min左右，如果全程使用Lapping的话，此加工就需耗时约2h，时间成本过高。目前的解决方式是在Lapping之前加入Grinding的制程，通过钻石砂轮与减薄机的配合来达到快速减薄的目的。，既能达到较高的移除率，又能修复Grinding制程留下的较深刮伤。一般来说切割过程中发生裂片都是由于Grinding制程中较深的刮伤没有去除，因此此时对钻石液的要求也比较高。除了裂片之外，有些芯片厂家为了增加芯片的亮度，在Lapping的制程之后还会在外延片背面镀铜，此时对Lapping之后的表面提出了更高的要求。虽然有些刮伤不会引起裂片，但是会影响背镀的效果。此时可以采用3um多晶钻石液或者更小的细微性来进行Lapping制程，以达到更好的表面品质。 广东精密平面加工