四川五金平磨平面精密磨

    磨料粒度对工件质量的影响平面研磨中选用的磨料材料及粒度，应取决于工件的材料、表面状况及对其加工后的表面质量要求，一般工件表面越硬或表面越粗糙，则应选用较硬及较粗的磨料，操作的工序较长。反之，则应选用较细及较软的磨料，操作的工序较短。此外，对于表面要求粗糙度很低的工件，则需要进行由粗到细的磨光工序也较多。反之，若工件初始表面较细，则可省掉首先道粗磨。如果加工后的工件表面要求很高(如以装饰为目的)或材料本身较软(如铜及其合金、铝及其合金)，则磨光后还需要进行抛光。相反，若工件表面的粗糙度要求较低，则可省掉细磨。在研磨加工中，磨粉和微粉这两组粒度号数较大的磨料，常用于加工余量大的粗研磨工可加工表面光洁度▽2级以下，而粒度号数小的超徽特磨料，则适用于微量切削的精研磨加工，可加工表面光估度在▽12-▽14之间，这说明磨料的粒度，不仅决定着研磨能力的大小，更重要的是决定着研磨加工质量的好坏，磨料的粒度愈细，获得的尺寸精度和表面光洁度愈高,所以，在选用磨科粒度时，应根据加工精度的高低来考虑。对于不同的精度要术，都有一个比较高切削能力的磨料粒度，但连并不意味着被选定的该粒度号数的所有磨料的切削能力都是比较高的。 研磨液在研磨过程中主要使磨料均匀分散悬浮在研磨剂中，并起稀释、润滑和冷却等作用。四川五金平磨平面精密磨

    电机是一种将电脉冲信号转换成相应角位移或线位移的电动机。每输入一个脉冲信号，转子就转动一个角度或前进一步，其输出的角位移或线位移与输入的脉冲数成正比，转速与脉冲频率成正比平面研磨机是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、等其他加工面是平面面的工件。1、平面研磨机的电机使用电压是380V，要确保在正常电压下使用。2、平面研磨机电机的使用频率是50HZ，不能超过50HZ使用。3、电机的电流强度不超过15A，如发现不正常要及时停机检查。4、平面研磨机电机的开关启动后，如发现电机瞬间没有起动反应，应立即停机检查，排出故障后才可正常使用。5、如发现电机有燥音或高温(超过80℃以上)，要立即停机检查，检查排出故障后才可正常使用。 精密平面加工因研磨过程几乎无任何切削作用，对工件余量切削微乎其微，适量控制研磨余量尤为重要。

    国内可以生产多晶钻石微粉的厂家有北京国瑞升和四川久远，而国瑞升同时可以自己生产钻石液，因此在品质与成本上具有较大优势。美国的DiamondInnovation近推出了“类多晶钻石”，实际是对普通单晶钻石的一种改良，虽然比较坚固的结构能提供较高的切削力，但是同时也更容易造成较深的刮伤。抛光：多晶钻石虽然造成的刮伤明显小于单晶钻石，但是仍然会在蓝宝石表面留下明显的刮伤，因此还会经过一道CMP抛光，去除所有的刮伤，留下完美的表面。CMP工艺原本是针对矽基板进行平坦化加工的一种工艺，现在对蓝宝石基板同样适用。经过CMP抛光工艺的蓝宝石基板在经过层层检测，达到合格准的产品就可以交给外延厂进行磊晶了。芯片的背部减薄制程磊晶之后的蓝宝石基板就成为了外延片，外延片在经过蚀刻、蒸镀、电极制作、保护层制作等一系列复杂的半导体制程之后，还需要切割成一粒粒的芯片，根据芯片的大小，一片2英寸的外延片可以切割成为数千至上万个CHIP。前文讲到此时外延片的厚度在430um附近，由于蓝宝石的硬度以及脆性，普通切割工艺难以对其进行加工。目前普遍的工艺是将外延片从430um减薄至100um附近，然后再使用镭射进行切割。

    超精密双面抛光加工应用化学机械抛光(cNrn)技术，靠工件、磨粒、抛光液及抛光盘的力学作用，在工件的抛光过程中，产生局部的高温和高压，从而使直接的物理化学变化直接发生在工件与磨粒、抛光液及抛光盘之间，导致工件的表面产生物理化学变化的反应物。由于力学作用与化学作用的重迭，使得工件表面的反应物不断被磨去，从而使工件表面平滑化。双面抛光技术是在单面抛光加工技术的基础上发展起来的，由于它在薄片工件的加工过程中能有效地避免应力差与粘结误差引起的变形问题。因此与单面抛光加工相比，双面抛光具有加工效率高，表面变形小，易获得超光滑加工表面的优点。一般的超精密双面抛光系统是由承载工件和下抛光盘的工作台、施加载荷的上抛光盘、带动工件旋转运动的行星轮以及供给抛光液的装置四大构件组成，在双面抛光的过程中，由于抛光液与抛光垫之间的物理运动，导致抛光液内部的化学溶液以及磨粒于工件产生化学变化，同时在上抛光盘对工件的旋转压力的作用下，使工件表面产生的化学反应物得到切除。其原理就是，在不断的化学变化中工件表面生成一种化学膜，同时由于旋转机械摩擦切除作用去除这一层化学膜，在不停地交替中获得超精密表面。 研磨速度过快时，研具急剧磨损，可能引起工件的热变形，直接影响加工精度。

    选择平面抛光机，需要注意以下几点：首先、根据您的材质、材质尺寸和加工要求选择基本的平面抛光机的款型，大部分情况需要配备顶配和工位，多个工位有利于一次性加工多个工件。第二、根据实际产能选择平面抛光机的型号。需要批量生产时，为了满足一次性加工数量尽可能，一般适合选用型号较大的型号。一般抛光盘直接有360、610、910等几种型号。第三、根据自动化要求程度，确定是否配备PLC程控系统、光栅系统等各种先进的自动化控制系统。第四、根据平面抛光机的工作频率决定是否使用修面机、平面测试仪器，供液系统等，在这些辅助设备的帮助下，可以使平面抛光机更好地完成高精密抛光程序。第五、平面抛光机配备抛光盘、抛光液等耗材。 同时适时、适量添加研磨剂，保证研磨剂流动连续性。湖南五金平磨平面磨具

平面度保证在0.02范围内，超精研磨主要功能提高工件表面光洁度，对形位公差其辅助修正作用。四川五金平磨平面精密磨

    为了使砂轮工作平稳，使用前应进行动平衡试验。砂轮工作一定时间后，其表面空隙会被磨屑堵塞，磨料的锐角会磨钝，原有的几何形状会失真。因此必须修整以恢复切削能力和正确的几何形状。砂轮需用金刚石笔进行修整。用砂轮作为切削刀具对工件进行切削加工的特点：(1)由于砂轮磨粒本身具有很高的硬度和耐热性，因此磨削能加工硬度很高的材料，如淬硬的钢、硬质合金等。(2)砂轮和磨床特性决定了磨削工艺系统能作均匀的微量切削，一般ap=～，一般可达v=30～50m/s;磨床刚度好;采用液压传动，因此磨削能经济地获得高的加工精度(IT6～IT5)和小的表面粗糙度(Ra=～μm)。磨削是零件精加工的主要方法之一。(3)由于剧烈的磨擦，而使磨削区温度很高。这会造成工件产生应力和变形，甚至造成工件表面烧伤。因此磨削时必须注入大量冷却液，以降低磨削温度。冷却液还可起排屑和润滑作用。(4)磨削时的径向力很大。这会造成机床—砂轮—工件系统的弹性退让，使实际切深小于名义切深。因此磨削将要完成时，应用刀进行光磨，以消除误差。(5)磨粒磨钝后，磨削力也随之增大、致使磨粒破碎或脱落，重新露出锋利的刃口，此特性称为“自锐性”。自锐性使磨削在一定时间内能正常进行。 四川五金平磨平面精密磨

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