广东精磨平面按需定制

    研磨运动应该保证工件能够均匀地接触带研磨抛光盘的全部表面。这样可使其能够表面均匀受载、均匀磨损，因而还才可以长久地保持研具本身的表面精度。在研磨运动中，研具与工件之间应处于还处于浮动的状态，而不应是强制的限位状态。这样可以使工件与研磨抛光盘的表面能够更好地接触，把研具表面的几何形状能够准确有效地传递给工件，从而不会受到研磨抛光机本身精度的过多影响。研磨运动应保证工件受到均匀研威即被研工件表面上的每一点所运动的路程应相等。这就需要研磨运动比较好能够作平面平行运动，而这种运动是能够可使工件表面上任意两点的连成线，在整个研磨运动中，都能够始终保持平行，这对于保证工件的几何形状的精度以及尺寸均匀程度来说是至为重要的。所选用的研磨运动应使运动轨迹不断有规律地改变方向，尽量避免过早地出现重复。这样可以就可以使工件表面上的无数的切削条痕能够有规律地相互交错抵消，慢慢的越研越平，进而达到提高工件所要求的人表面精度的终目的。在研磨抛光机运动时，研磨运动还应该根据不同的研磨工艺要求，具体的选取比较好运动研磨速度。比如，当进行加工细长的大尺寸工件的时候，需要选取低速研磨，主要是由于所得到精度更高。而且体小重量轻，形体结构对称，保证运动平稳等特点。广东精磨平面按需定制

    对外延片以Lapping的方式虽然加工品质较好。但是移除率太低，比较高也只能达到3um/min左右，如果全程使用Lapping的话，此加工就需耗时约2h，时间成本过高。目前的解决方式是在Lapping之前加入Grinding的制程，通过钻石砂轮与减薄机的配合来达到快速减薄的目的。，既能达到较高的移除率，又能修复Grinding制程留下的较深刮伤。一般来说切割过程中发生裂片都是由于Grinding制程中较深的刮伤没有去除，因此此时对钻石液的要求也比较高。除了裂片之外，有些芯片厂家为了增加芯片的亮度，在Lapping的制程之后还会在外延片背面镀铜，此时对Lapping之后的表面提出了更高的要求。虽然有些刮伤不会引起裂片，但是会影响背镀的效果。此时可以采用3um多晶钻石液或者更小的细微性来进行Lapping制程，以达到更好的表面品质。 广东精磨平面按需定制研磨时用手轻按住零件，使磨痕交叉以提高表面粗糙度等级，研磨一段时间后，将零件转动一定角度再继续研磨。

    为了验证所施加的轴向振动工件被研磨的表面特征，在新的研制的立式平面研磨抛光机设备上，会对氧化锆陶瓷以及度炮钢进行粗精密研磨试验。砂轮的径向振动与油石向着振动研磨材料加工出的工件表面，径向平面研磨抛光机振动磨粒所刻划的工件表面呈现贝壳状的破碎，会产生这种破碎的原因主要是由于磨粒会在普通的加工基础上，磨粒出现周期性的着呢东会对底部造成不断的冲击，当磨粒的冲击应力超过了所加工工件材料的断裂极限的时候，会出现径向裂纹急剧扩展的现象，会在磨粒的便捷横向裂纹不断的向着工件表面延伸，出现工件表面脱落现象。当油石的轴向施加超声振动的时候，磨粒的切深并不会因为振动的施加而变得更大，磨粒所刻划的底部很难发现出现裂碎的现象。但是由于磨粒的轴向振动，会使磨粒对垂直于其运动方向上所隆起的沟槽壁会产生不断的冲击，磨粒在压入和运动的时候会形成横向裂纹，在冲击作用下会延伸到工件的表面，形成工件表面破碎与脱落的现象，会终形成比较宽的加工痕，此外，在磨削的沟槽底部会出现微小痕迹，在轴向加工的时候，磨粒会对磨削的沟槽边沿冲击的时候痕迹清晰可见。在轴向振动的时候，被研磨的工件表面会由于磨粒的切深不变。

    超精密双面抛光加工应用化学机械抛光(cNrn)技术，靠工件、磨粒、抛光液及抛光盘的力学作用，在工件的抛光过程中，产生局部的高温和高压，从而使直接的物理化学变化直接发生在工件与磨粒、抛光液及抛光盘之间，导致工件的表面产生物理化学变化的反应物。由于力学作用与化学作用的重迭，使得工件表面的反应物不断被磨去，从而使工件表面平滑化。双面抛光技术是在单面抛光加工技术的基础上发展起来的，由于它在薄片工件的加工过程中能有效地避免应力差与粘结误差引起的变形问题。因此与单面抛光加工相比，双面抛光具有加工效率高，表面变形小，易获得超光滑加工表面的优点。一般的超精密双面抛光系统是由承载工件和下抛光盘的工作台、施加载荷的上抛光盘、带动工件旋转运动的行星轮以及供给抛光液的装置四大构件组成，在双面抛光的过程中，由于抛光液与抛光垫之间的物理运动，导致抛光液内部的化学溶液以及磨粒于工件产生化学变化，同时在上抛光盘对工件的旋转压力的作用下，使工件表面产生的化学反应物得到切除。其原理就是，在不断的化学变化中工件表面生成一种化学膜，同时由于旋转机械摩擦切除作用去除这一层化学膜，在不停地交替中获得超精密表面。 球墨铸铁因含有球状石墨组织，提高了塑性和韧性等机械性能。

    为了使砂轮工作平稳，使用前应进行动平衡试验。砂轮工作一定时间后，其表面空隙会被磨屑堵塞，磨料的锐角会磨钝，原有的几何形状会失真。因此必须修整以恢复切削能力和正确的几何形状。砂轮需用金刚石笔进行修整。用砂轮作为切削刀具对工件进行切削加工的特点：(1)由于砂轮磨粒本身具有很高的硬度和耐热性，因此磨削能加工硬度很高的材料，如淬硬的钢、硬质合金等。(2)砂轮和磨床特性决定了磨削工艺系统能作均匀的微量切削，一般ap=～，一般可达v=30～50m/s;磨床刚度好;采用液压传动，因此磨削能经济地获得高的加工精度(IT6～IT5)和小的表面粗糙度(Ra=～μm)。磨削是零件精加工的主要方法之一。(3)由于剧烈的磨擦，而使磨削区温度很高。这会造成工件产生应力和变形，甚至造成工件表面烧伤。因此磨削时必须注入大量冷却液，以降低磨削温度。冷却液还可起排屑和润滑作用。(4)磨削时的径向力很大。这会造成机床—砂轮—工件系统的弹性退让，使实际切深小于名义切深。因此磨削将要完成时，应用刀进行光磨，以消除误差。(5)磨粒磨钝后，磨削力也随之增大、致使磨粒破碎或脱落，重新露出锋利的刃口，此特性称为“自锐性”。自锐性使磨削在一定时间内能正常进行。 但当单位压力增加到某一数值后呈现宝盒倾向，研磨效率达到最大值。广东精磨平面按需定制

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    浅谈平面超精研磨工艺煤直接液化装置上用的金属密封球阀,其严苛工况对密封面粗糙度和平面度提出更高的要求，采用传统的研磨工艺，加工后的零件表面粗糙度只达到，无法满足超精密封技术要求，超精研磨工艺研究已然成为阀门行业的一个重要课题。下面对平面密封面技术要求进行简要分析以规格为6"，2500LB煤化工样机平面密封面技术要求为例，其阀体和阀座零件密封面材质分别为STL21和NI-WC，硬度均≥45HRC，光洁度要求，平面度要求。尤其阀体平面密封面处于内孔底面，具体如图1所以，技术要求难点主要体现在如下两方面：(1)平面度要求较高。采用车削加工方式，在切削条件理想状态下精度可保持在(因密封面所处位置原因，无法采用磨削方式加工)。(2)粗糙度要求较高。常规切削方式粗糙度保持在，无法达到。超精研磨加工在结合传统的研磨工艺基础上超精研磨各个工艺环节的影响因素进行分析，形成图2所示超精研磨工艺的输入树形结构图。研磨剂(1)磨料碳化硼(B4C)是已知坚硬的三种材料之一，具有高硬度、高耐磨性和易碎性较低等特性，并且在研磨过程中破碎后仍保持一定的锋刃，可作为硬质合金材料(尤其对于NI-WC密封面，其硬度≥63HRC)研磨磨料优先。

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